高洁净度晶圆载具
针对刻蚀与薄膜沉积工艺定制。优化切削路径以减少微尘颗粒，适配无尘车间应用。
Technical Specifications
材质
PEEK/AL6061
粗糙度
Ra 0.4
公差
±0.005mm
应用
前端制程
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